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            工業硅片上長出“完美”二維超薄材料,可用于制造下一代晶體管和電子薄膜

            2023-01-19 09:30:56     來源:科技日報


            工程師們通過將原子沉積在涂有“掩膜”的晶片上(左上),可以將原子聚集在掩膜的各個口袋中(中間),并鼓勵原子生長成完美的2D單晶層(右下)。圖片來源:麻省理工大學

               科技日報實習記者?張佳欣

            據發表在最新一期《自然》雜志上的論文,美國麻省理工學院工程師開發出一種“非外延單晶生長”方法,在工業硅晶圓上生長出純凈的、無缺陷的二維材料,以制造越來越小的晶體管。

            根據摩爾定律,自20世紀60年代以來,微芯片上的晶體管數量每年都會翻一番。但這一趨勢預計很快就會趨于平緩,因為用硅制成的器件一旦低于一定的尺寸,就會失去其電性能。

            在納米尺度上,二維材料可比硅更有效地傳導電子。因此,尋找下一代晶體管材料的重點是將二維材料作為硅的潛在替代品。但在此之前,科學家們必須首先找到一種方法,在保持其完美結晶形態的同時,在工業標準硅片上設計這種材料。

            現在,麻省理工學院研究團隊用二維材料過渡金屬二硫化物(TMD)制造了一種簡單的功能晶體管,這種材料在納米尺度上比硅具有更好的導電性。

            為生產二維材料,研究人員通常采用一種手工工藝,即從大塊材料中小心地剝離原子般薄的片,就像剝洋蔥層一樣。但大多數塊狀材料是多晶體,包含多個隨機方向 生長的晶體。當一種晶體與另一種晶體相遇時,“晶界”起到了電屏障的作用。任何流過一個晶體的電子在遇到不同方向的晶體時都會突然停止,從而降低材料的導 電性。即使在剝離二維薄片之后,研究人員也必須搜索薄片中的“單晶”區域,這是一個繁瑣且耗時的過程,很難應用于工業規模。

            研究人員通過在藍寶石晶圓上生長這些材料找到新方法。藍寶石是一種具有六角形原子圖案的材料,可促使二維材料以相同的單晶方向組裝。新的“非外延單晶生長”方法不需要剝離和搜索二維材料的薄片,并可使晶體向同一方向生長。

            研究小組據此制造了一個簡單的TMD晶體管,其電性能與相同材料的純薄片一樣好。研究人員表示,未來或可制造出小于幾納米的器件,這將改變摩爾定律的范式。


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